Auftragsfertiger will Technik durch Metalltor-Transisitoren „aufbohren“ und bittet Sachsen um 10,6 Millionen Euro Förderhilfe Dresden, 30. April 2014: Der Halbleiter-Auftragsfertiger „Globalfoundries“ (GF)) will für etwa zehn Jahre aus dem Branchen-Wettlauf um immer feinere Chipstrukturen aussteigen. Zumindest am Standort Dresden werde man die jüngst entwickelte 28-Nanometer-Fertigungstechnologie bis über das Jahr 2020 hinaus als bestimmende Produktionsmethode weiternutzen, bestätigten die Dresdner GF-Manager Gerd Teepe und Jens Drews auf Oiger-Anfrage – normalerweise sind in der Spitzen-Mikroelektronik Innovationszyklen von zwei bis vier Jahren üblich. Hauptgrund: GF hält die neuen Chip-Belichtungstechniken per Doppelmuster („Double Patterning“) und Röntgenlicht (“EUV“) noch für zu teuer und zu unausgereift, um darauf umzurüsten. „Replacement Metal Gate“ soll für mehr Chip-Leistung sorgen Allerdings will GF Dresden seine 28-nm-Fertigung so aufbohren, dass dennoch leistungsfähigere Chips möglich werden. Ein erster Schritt werden Metalltor-Transistoren („Replacement Metal Gate“ = RMG) sein, für deren Entwicklung das Unternehmen nun den Freistaat Sachsen um eine Sonderförderung in Höhe von 10,6 Millionen Euro gebeten hat. Wissenschafts- und Finanzministerium halten das RMG-Projekt „Apollo“ auch für essenziell für die Wettbewerbsfähigkeit des Chip-Standortes Dresden und appellieren nun an …
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